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國產(chǎn)光刻機工廠落地雄安?中國電子院回應

國產(chǎn)光刻機工廠落地雄安?中國電子院回應

責任編輯:林鏗泓 2023-09-19 09:33:16 來源:深圳特區(qū)報

近期,一則消息在各大視頻平臺廣為傳播,稱清華大學EUV項目把ASML的光刻機巨大化,實現(xiàn)了光刻機國產(chǎn)化,並表示這個項目已經(jīng)在雄安新區(qū)落地。

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對此,中國電子工程設計院有限公司(下稱中國電子院)9月18日發(fā)聲,稱該項目並非網(wǎng)傳的國產(chǎn)光刻機工廠,而是北京高能同步輻射光源項目(HEPS)。

北京高能同步輻射光源項目坐落於北京懷柔雁棲湖畔,是國家「十三五」重大科技基礎設施,它是我國第一臺高能量同步輻射光源,也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項目早在2019年就開始建設,將於2025年底投入使用。

中國電子院解釋稱,HEPS可以看成是一個超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機,它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質、深入內部進行立體掃描,從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界,HEPS是進行科學實驗的大科學裝置,並不是網(wǎng)傳的光刻機工廠。

頂圖:北京高能同步輻射光源項目實拍圖。圖源中國電子院

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